CS330質(zhì)量流量控制器是七星華創(chuàng)流量計(jì)新研發(fā)的數(shù)字型產(chǎn)品，*高流量可達(dá)200SLM氮?dú)猓⒖蓪?shí)現(xiàn)數(shù)字/模擬控制模式；產(chǎn)品采用了新型全金屬密封結(jié)構(gòu)形式、大流量、低壓損電磁調(diào)節(jié)閥、以及*的人工智能機(jī)器人金屬表面拋光技術(shù)，可用于測量各種氣體的流量，包括惰性氣體、強(qiáng)腐蝕性氣體、易燃易爆等危險(xiǎn)性氣體。產(chǎn)品具備精度高、響應(yīng)速度快、低零漂、低溫漂性能等優(yōu)點(diǎn)，并支持DeviceNet，RS485通訊協(xié)議。
CS330產(chǎn)品是七星華創(chuàng)流量計(jì)新研發(fā)的數(shù)字型產(chǎn)品，*高流量可達(dá)200SLM氮?dú)?，并可?shí)現(xiàn)數(shù)字/模擬控制模式；產(chǎn)品采用了新型全金屬密封結(jié)構(gòu)形式、大流量、低壓損電磁調(diào)節(jié)閥、以及*的人工智能機(jī)器人金屬表面拋光技術(shù)，可用于測量各種氣體的流量，包括惰性氣體、強(qiáng)腐蝕性氣體、易燃易爆等危險(xiǎn)性氣體。產(chǎn)品具備精度高、響應(yīng)速度快、低零漂、低溫漂性能等優(yōu)點(diǎn)，并支持DeviceNet，RS485通訊協(xié)議。
優(yōu)勢
• 新型的金屬密封結(jié)構(gòu)形式。該密封結(jié)構(gòu)形式具有密封可靠、裝配工藝簡單、耐腐蝕等優(yōu)勢，廣泛適用于各類氣體流量的測量。
• 體積小、零漂小、抗干擾能力強(qiáng)的傳感器。該傳感器采用上、下游對稱性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，從而保證了傳感器的零漂小;傳感器內(nèi)部設(shè)有保溫棉，極大程度降低了環(huán)境溫度對傳感器的影響，從而提高了傳感器的抗干擾能力，確保了氣體流量檢測的精度。
• *的人工智能機(jī)器人表面拋光技術(shù)。CS330系列產(chǎn)品金屬表面粗糙度可達(dá)0.1RA，嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)制造。
• CS330系列產(chǎn)品支持±8V~±16V雙電源或者+14V~+28V單電源供電;支持?jǐn)?shù)字，模擬輸入輸出。
• CS330系列產(chǎn)品支持多種電氣接口，包括DB9、DB15、DeviceNet(側(cè)部、頂部);支持RS485，DeviceNet通訊方式。
CS330質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
CS330C、D | |||
型號(hào) | CS330C、D | ||
閥類型 | 常閉 | 無 | |
流量規(guī)格(N2) | (100,200) SLM | ||
準(zhǔn)確度 | ±1.0% S.P. (＞35% F.S.) ±0.35% F.S. (≤35% F.S.) | ||
線性 | ±0.5% F.S. | ||
重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. | ||
響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 1 sec | ||
工作壓差范圍 | 100 ~ 300 KPa （50＜F≤100SLM） | ||
溫度系數(shù) | 零點(diǎn): ≤±0.02% F.S./℃；調(diào)節(jié)時(shí)：≤±0.1% F.S./℃ | ||
大工作壓差 | 1 MPa | ||
耐壓 | 3 MPa (435pisg) | ||
漏率 | 5 x 10-12 Pa·m3/ sec He （5 x 10-11 atm.cc/sec He） | ||
密封材料 | 金屬 | ||
工作環(huán)境溫度 | （0～50）℃ | ||
輸入信號(hào) | 數(shù)字: RS485或 DeviceNetTM | 無 | |
輸出信號(hào) | 數(shù)字:RS485或 DeviceNetTM | ||
零漂 | 在沒有零點(diǎn)校正時(shí)＜0.6%F.S./年 | ||
電源 | ±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28VDC (單極) | ||
表面化學(xué)成分 | 常態(tài) | ||
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | VCR 1/2´´ | ||
電源接頭形式 | D型9針陽接頭；D型15針陽接頭；DeviceNet 接頭 | ||
重量 | 2.6 Kg | 1.5 Kg | |
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