數(shù)字氣體流量計選型

簡要描述：

數(shù)字氣體流量計產(chǎn)品類型：高精度型,快響應(yīng)型,全金屬密封型,數(shù)字型,抗電磁干擾

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數(shù)字氣體流量計產(chǎn)品類型：

高精度型,快響應(yīng)型,全金屬密封型,數(shù)字型,抗電磁干擾

數(shù)字氣體流量計技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品型號	CS200C
產(chǎn)品類型	高精度型,快響應(yīng)型,全金屬密封型,數(shù)字型,抗電磁干擾
流量量程	2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
產(chǎn)品精度	±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)
重復(fù)精度	±0.2% FS
線性	±0.5% F.S.
響應(yīng)時間	≤0.8sec
工作溫度范圍	(0~50)°C
耐壓	3MPa
密封材料	金屬密封 Metal
輸入輸出信號	(0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus
電源	±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC
閥類型	常開或常閉
溫度系數(shù)	Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃
零點(diǎn)飄移指標(biāo)	＜0.6%F.S. per year without autozero
電氣連接	Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male
工作壓差范圍	(0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）
漏率	1×10-10atm•cc / sec He（1×10-11 Pa•m3 / sec He）
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式	雙卡套1/4”(滿量程≤30slm),雙卡套Φ3 (僅適用于滿量程≤5slm產(chǎn)品),雙卡套Φ6(僅適用于滿量程≤30slm產(chǎn)品),VCR1/4”,IGS W型,IGS C型
表面化學(xué)成分	CrO thickness ＞20 Angstroms
表面粗糙度	10µinch
抗電磁干擾	CE
重量	1.2Kg