D07-15質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對各種氣體進行測量和控制,除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量,質(zhì)量流量計(MFM)可以精密測量氣體的質(zhì)量流量。D07-15是七星流量計專門針對客戶對流量穩(wěn)定性的需求研發(fā)的高穩(wěn)流型產(chǎn)品。
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特點
• 高穩(wěn)流型• 小體積,低波動• 橡膠密封、模擬電路的MFC• 采用P20金手指插頭
D07-15質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
項 目
D07-15
D07-15A
流量規(guī)格
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~1,2,3,5) SLM
準確度
±1% F.S.
線性
±0.5% F.S.
重復(fù)精度
±0.2% F.S.
響應(yīng)時間
≤4 sec
工作壓差范圍
(0.1 ~ 0.3) MPa
大工作壓力
0.5
耐壓
3 MPa
工作環(huán)境溫度
5 ℃ ~ 45 ℃
輸入輸出信號
0 V ~ +5.00 V(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)
電源
+15V 50mA-15V 200mA
重量
0.85 kg
0.9 kg